| 番号 | メーカー | 機種名 | 構成 - モデル | 年式 | 仕様 | 備考 | |
| CL2160-1 | ワイエス | 真空吸着式ローダー | 特殊真空 （単体） |
SPK-65 | 1996/3 | 右→左（奥固定） Mサイズ |
管理No.YVL-03N |
| CL2169-4 | ﾊﾟﾅｿﾆｯｸ | 真空吸着式ローダー | 単体 | 真空吸着式 B.S.F.V2 NM-2336L S/N. 73B0595 |
1997/2 | 右→左（前固定） 最大基板:300㎜×250㎜ 装置寸法：W 450×D 670×H 1200 |
管理No.PLM-21N -------- 管理No.PULM-07N |
| CL2170-4 | ﾊﾟﾅｿﾆｯｸ | 真空吸着式ローダー | 単体 | 真空吸着式 B.S.F.V2 NM-2336L S/N. 73B0595 |
1997/3 | 右→左（前固定） 最大基板:300㎜×250㎜ 装置寸法：W 450×D 670×H 1200 |
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| CL2170-5 | ﾊﾟﾅｿﾆｯｸ | 真空吸着式ローダー | 単体 | 特殊真空吸着式 B.S.F.V2 NM-2336L S/N. 61B04957 |
1996/1 | 右→左（前固定） 最大基板:300㎜×250㎜ 装置寸法：W 450×D 670×H 1200 |
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33: 真空吸着式ローダー