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改訂: 2018年08月10日
番号 メーカー 機種名 構成 - モデル 年式 仕様 備考
CL2153-1 ワイエス 真空吸着式ローダー 特殊真空
(単体)
SPK-85 2000/2 左→右(前固定)
LLサイズ(Max:410mm)
管理No.YVLL-01N
CL2160-1 ワイエス 真空吸着式ローダー 特殊真空
(単体)
SPK-65 1996/3 右→左(奥固定)
Mサイズ
管理No.YVL-03N
CL2169-4 パナソニック 真空吸着式ローダー 単体 真空吸着式
B.S.F.V2 
NM-2336L
S/N. 73B0595
1997/2 右→左(前固定)
最大基板:300o×250o
装置寸法:W 450×D 670×H 1200  
管理No.PLM-21N
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管理No.PULM-07N
CL2170-4 パナソニック 真空吸着式ローダー 単体 真空吸着式
B.S.F.V2 
NM-2336L
S/N. 73B0595
1997/3 右→左(前固定)
最大基板:300o×250o
装置寸法:W 450×D 670×H 1200  

CL2170-5 パナソニック 真空吸着式ローダー 単体 特殊真空吸着式
B.S.F.V2        NM-2336L
S/N. 61B04957
1996/1 右→左(前固定)
最大基板:300o×250o
装置寸法:W 450×D 670×H 1200  



33: 真空吸着式ローダー




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