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改訂：　2021年04月20日

番号	メーカー	機種名	構成 - モデル		年式	仕様	備考
CL2160-1	ワイエス	真空吸着式ローダー	特殊真空（単体）	SPK-65	1996/3	右→左（奥固定） Mサイズ	管理No.YVL-03N
CL2169-4	ﾊﾟﾅｿﾆｯｸ	真空吸着式ローダー	単体	真空吸着式 B.S.F.V2　 NM-2336L S/N. 73B0595	1997/2	右→左（前固定）最大基板:300㎜×250㎜装置寸法：W 450×D 670×H 1200	管理No.PLM-21N -------- 管理No.PULM-07N
CL2170-4	ﾊﾟﾅｿﾆｯｸ	真空吸着式ローダー	単体	真空吸着式 B.S.F.V2　 NM-2336L S/N. 73B0595	1997/3	右→左（前固定）最大基板:300㎜×250㎜装置寸法：W 450×D 670×H 1200
CL2170-5	ﾊﾟﾅｿﾆｯｸ	真空吸着式ローダー	単体	特殊真空吸着式 B.S.F.V2　　　　　　　　NM-2336L S/N. 61B04957	1996/1	右→左（前固定）最大基板:300㎜×250㎜装置寸法：W 450×D 670×H 1200
CL2185-3	ﾊﾟﾅｿﾆｯｸ	真空吸着式ローダー	単体	真空吸着式 B.S.F.V2　 NM-2336L	2002/3	右→左（前固定）最大基板:300㎜×250㎜装置寸法：W 450×D 670×H 1200

33: 真空吸着式ローダー

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