番号 | メーカー | 機種名 | 構成 - モデル | 年式 | 仕様 | 備考 | |
CL2160-1 | ワイエス | 真空吸着式ローダー | 特殊真空 (単体) |
SPK-65 | 1996/3 | 右→左(奥固定) Mサイズ |
管理No.YVL-03N |
CL2169-4 | パナソニック | 真空吸着式ローダー | 単体 | 真空吸着式 B.S.F.V2 NM-2336L S/N. 73B0595 |
1997/2 | 右→左(前固定) 最大基板:300o×250o 装置寸法:W 450×D 670×H 1200 |
管理No.PLM-21N -------- 管理No.PULM-07N |
CL2170-4 | パナソニック | 真空吸着式ローダー | 単体 | 真空吸着式 B.S.F.V2 NM-2336L S/N. 73B0595 |
1997/3 | 右→左(前固定) 最大基板:300o×250o 装置寸法:W 450×D 670×H 1200 |
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CL2170-5 | パナソニック | 真空吸着式ローダー | 単体 | 特殊真空吸着式 B.S.F.V2 NM-2336L S/N. 61B04957 |
1996/1 | 右→左(前固定) 最大基板:300o×250o 装置寸法:W 450×D 670×H 1200 |
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