番号	メーカー	機種名	構成 - モデル		年式	仕様	備考
CL2218-1	小松	NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー	NGｽﾄｯｶｰ	ENG10MC	2009/6	右→左（前固定） NGストッカー M基板対応ラック待機数：1ケラック前から取出し装置寸法：W1050×D650×H730mm	管理No.NNG
CL2220-2	小松	NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.2	ESS10M	2011/	右→左（前固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	KMB-02N
CL2220-3	小松	NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.3	ESS10M	2007/	右→左（前固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	KMB-03N
CL2220-4	小松	NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.4	ESS10M	2007/	右→左（前固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	KMB-04N
CL2220-5	小松	NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.5	ESS10M	2011/	右→左（前固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	KMB-05N
CL2240-1	小松	NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.7	ESS10M	2007/	右→左（前固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	KMB-07N
CL2240-2	ワイエス	NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.7	ESS10M	2007/	左→右（奥固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	YMB-03N
CL2250-1	ワイエス	NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.1	ESS10M	2007/	右→左（前固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	KMB-01N
CL2251-1	ワイエス	NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー	冷却ストッカー 1号機	PBS-MS-46NBAS	2018/9	右→左（前固定）基板冷却ストッカー (リフロー炉後の基板冷却に最適適) 基板収納枚数・・最大24枚基板最大幅・・400mm ２段式プッシャー内蔵供給ピッチ4段切替冷却ファン×6個 (内4個は風量調整) 排気穴・・3カ所排気ファン・・2個	KMB-07N
CL2251-2	ワイエス	NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー	冷却ストッカー 2号機	PBS-MS-46NBAS	2018/9	右→左（前固定）基板冷却ストッカー (リフロー炉後の基板冷却に最適適) 基板収納枚数・・最大24枚基板最大幅・・400mm ２段式プッシャー内蔵供給ピッチ4段切替冷却ファン×6個 (内4個は風量調整) 排気穴・・3カ所排気ファン・・2個	KMB-07N
CL2251-3	ワイエス	NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー	冷却ストッカー 3号機	PBS-MS-46NBAS	2018/9	左→右（前固定）基板冷却ストッカー (リフロー炉後の基板冷却に最適適) 基板収納枚数・・最大24枚基板最大幅・・400mm ２段式プッシャー内蔵供給ピッチ4段切替冷却ファン×6個 (内4個は風量調整) 排気穴・・3カ所排気ファン・・2個	KMB-07N
CL2251-4	ワイエス	NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー	冷却ストッカー 4号機	PBS-MS-46NBAS	2018/9	左→右（前固定）基板冷却ストッカー (リフロー炉後の基板冷却に最適適) 基板収納枚数・・最大24枚基板最大幅・・400mm ２段式プッシャー内蔵供給ピッチ4段切替冷却ファン×6個 (内4個は風量調整) 排気穴・・3カ所排気ファン・・2個	KMB-07N