番号	メーカー	機種名	構成 - モデル		年式	仕様	備考
CL2218-1	小松	NGｽﾄｯｶｰ・中間ストッカー	NGｽﾄｯｶｰ	ENG10MC	2009/6	右→左（前固定） NGストッカー M基板対応ラック待機数：1ケラック前から取出し装置寸法：W1100×D1200×H1250	管理No.NNG
CL2220-1	小松	NGｽﾄｯｶｰ・中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.1	ESS10M	2007/	右→左（前固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	KMB-01N
CL2220-2	小松	NGｽﾄｯｶｰ・中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.2	ESS10M	2011/	右→左（前固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	KMB-02N
CL2220-3	小松	NGｽﾄｯｶｰ・中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.3	ESS10M	2007/	右→左（前固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	KMB-03N
CL2220-4	小松	NGｽﾄｯｶｰ・中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.4	ESS10M	2007/	右→左（前固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	KMB-04N
CL2220-5	小松	NGｽﾄｯｶｰ・中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.5	ESS10M	2011/	右→左（前固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	KMB-05N
CL2220-6	小松	NGｽﾄｯｶｰ・中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.6	ESS10M	2011/	右→左（前固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	KMB-06N
CL2240-1	小松	NGｽﾄｯｶｰ・中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.7	ESS10M	2007/	右→左（前固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	KMB-07N
CL2240-2	ワイエス	NGｽﾄｯｶｰ・中間ストッカー	基板中間ストッカー NO.7	ESS10M	2007/	左→右（奥固定）基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵パスモードスイッチ付　(バッフアーに入れずに後ろに押し出す)	YMB-03N
CL2241-1	ナガオカ	NGｽﾄｯｶｰ・中間ストッカー			2009/6	右→左（前固定） NGストッカーラック待機数： 1個	管理番号:KNGM-02N