| 番号 | メーカー | 機種名 | 構成 - モデル | 年式 | 仕様 | 備考 | |
| CL2252-1 | 長岡 | 基板ｸﾘｰﾅ・基板分割 | 基板クリーナー | NCW-250R | 2015/5 | 右→左（前固定） 基板クリーナー 対応基板幅…50～250mm 対応基板長…90～330mm 上面・・静電回転ブラシ(ブロー 下面・・静電回転ブラシ 集塵機付(淀川) 設備寸法…W400×D750×H1,400㎜ |
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| CL2253-2 | 長岡 | 基板ｸﾘｰﾅ・基板分割 | 基板クリーナー | NBC-250TC-500 | 2008/2016/11 | 右→左（前固定） 基板クリーナー 対応基板幅…50～250mm 対応基板長…90～400mm 静電ブラシ+集塵機併用(イオナイザー付き) 集塵機付 設備寸法…W500×D650×H1,000㎜ |
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| IH2478-1 | サヤカ | 基板ｸﾘｰﾅ・基板分割 | 分割機 1号機 |
SAM-CT23NJ | 2007/ | 単体 基板分割装置 ルーター式 カメラ補正 集塵機付き |
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| IH2478-2 | サヤカ | 基板ｸﾘｰﾅ・基板分割 | 分割機 2号機 |
SAM-CT23NJ | 2004/ | 単体 基板分割装置 ルーター式 カメラ補正 集塵機付き |
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| IH2478-3 | サヤカ | 基板ｸﾘｰﾅ・基板分割 | 分割機 3号機 |
SAM-CT23NJ | 2004/ | 単体 基板分割装置 ルーター式 カメラ補正 集塵機付き |
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| IH2478-4 | サヤカ | 基板ｸﾘｰﾅ・基板分割 | 分割機 4号機 |
SAM-CT23NJ | 2010/ | 単体 基板分割装置 ルーター式 カメラ補正 集塵機付き |
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23: 基板ｸﾘｰﾅ・基板分割